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* 나노 크린을 실현하는 케미컬 오염대책 시스템

전문가 제언: □ 나노클린을 실현하는 화학오염 대책 시스템이라는 것은 극미량의 화학오염물질까지 청정화 시키는 총합적인 클린 시스템으로 [나노클린시스템] 이라 불리고 있다. 구체적으로 말하자면 공기 중에 포함되어 있는 이온류, 금속원소, 도펀트 류의 농도를 1ng/m3이하 수준(나노클린)으로, 유기물에 대해서는 총량 1μgC/m3이하 이면서 DOP, DBP, BHT 등을 포함하지 않는 수준으로 제어하는 시스템이다.

□ 대기 중 이온 류는 10~40,000ng/m3, 유기 가스는 30~200㎍/m3의 농도로 존재하며, 이들을 제거하여 클린룸의 화학오염물질 농도를 대기의 1/10~1/10,000 수준까지 청정화 시킨 클린룸이 나노클린룸이다. 나노 클린룸에는, 고 농도의 오염물질을 포함한 외부 공기는 들어와서는 안 된다. 따라서 외부 공기 취입구가 배출원의 바람 아래에 있지 않도록 배기공급의 배치에 충분히 신경을 써야 한다. 또한, 배기가 잘 확산 되도록 배기원의 높이 같은 것도 검토할 필요가 있다.

□ 외부 공기의 화학 오염물질 제거는 화학 필터와 순수 공기 세척기를 조합하는 것이 유효하다. 순수 공기세척기로는 이온 류인 SO42- 와 NH4+가 잘 제거될 수 있다. 단, 외부 공기 중에 포함되어 있는 유기 가스는 녹지 않는 성분이 많기 때문에, 공기세척기의 유기가스 제거율은 낮다.

□ 따라서, 필요에 따라 유기가스 제거용, 음이온 제거용, 양이온 제거용의 화학필터를 순수 공기세척기의 다음단계에 설치한다. 이와 같이 2단계의 처리를 하면, 확실히 오염물질이 제거될 뿐만 아니라, 외부 농도의 큰 변동에 따른 영향을 줄이고 화학필터의 수명을 늘리는 효과도 있다.

□ 케미컬 클린은 말로는 알려져 있지만, 실제 재료제조현장에서는 만족할 만한 관리를 하고 있지 않은 경우가 많다. 특히, 고도의 화학오염에 대한 대책이 요구되는 클린룸의 설치에 있어서는 세부적인 관리가 필요하다.

□ 마이크로(10-6)시스템에서 나노(10-9)시스템으로 변모하는 상상을 초월하는 과학발전에 해당하는 이 NT시대에 걸맞은 필수적인 오염방지를 위한 클린룸이 바로 나노클린룸으로 이것의 이해, 디자인, 설치 및 활용의 필연성과 그에 따른 과학적 발전의 미래전망을 현실화하여야 하겠다.

저자: H. Sekiguchi
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